六零小说

第363章 光源工作檯物镜系统都搞定明年春季可出原型机（第1页）

曹所长一一介绍：

“这位是刘工，负责高功率雷射器研发！”

“这位是陈工，负责精密光学加工！”

“这位是张工，负责超精密运动控制。”

介绍完后，曹所长搓著手，有点紧张地问：

“江院士，您这次来，具体是想跟我们合作什么方向？”

江辰从背包里拿出那个笔记本，翻到极紫外光源的那一页，推到曹所长面前。

“极紫外光源，用於1nm光刻机。”

会议室里安静了整整五秒。

曹所长盯著那张光路图，眼睛越瞪越大。

刘工凑过来看了一眼，手里的茶杯差点没端稳。

陈工和张工对视一眼，都从对方眼里看到了两个字……“离谱”。

“江。。。。。。江院士。”

曹所长声音都有点抖了，“您这张图，是从哪儿来的？”

“自己画的。”

“自己画的？？？”

刘工忍不住了，“江院士，我搞了二十年高功率雷射器，这张图里的泵浦方式、增益介质的选择、光学谐振腔的设计。。。。。。”

“我从来没见过这种方案！但凭我的经验，这个方案在理论上是完全可行的！而且效率比我们目前用的方案高了至少一个数量级！”

江辰点头，“对，这是我专门为光刻机光源优化的方案。”

“核心参数我都算过了，理论效率是目前主流方案的八到十倍。”

“如果实现，极紫外光源的输出功率可以突破千瓦级。”

“千瓦级？？？”

曹所长差点从椅子上弹起来，“目前全球最先进的极紫外光源，输出功率也就几百瓦！千瓦级……那光刻效率能提升多少？”

“至少一个数量级。”

江辰顿了顿，“如果光源功率达到千瓦级，再配合高灵敏度的光刻胶，1nm製程的產率可以做到跟当前主流製程相当。”

“也就是说，1nm晶片的量產成本，不会比成熟製程高太多。”

曹所长瘫在椅子上，两眼放空，嘴里喃喃自语：“1nm製程量產，成本可控。。。。。。这要是做成了，东大晶片產业，至少提速十年。。。。。。”

江辰合上笔记本，“三位主任，我需要光电所帮个忙。”

“光源的原型机，我提供全套设计方案和技术参数，你们负责加工、装配、测试。”

“物镜系统的镀膜和装配，也需要你们这边的超精密加工设备。”

曹所长回过神来，用力点头，